LASEAの新しいプラットフォームLS-Plume®、超高速レーザーマイクロマシニング用シミュレーションツールをご覧ください。
超高速レーザーは、熱影響が無視できるような加工パラメータが選択されていれば、事実上あらゆる種類の材料を微細加工するための優れたツールであることが、過去数年間に徹底的に実証されてきました。
超高速レーザーの照射によって得られるアブレーション形状は、通常、レーザービームと材料特性の両方に関連するいくつかの要因に依存する。その結果、与えられた材料に必要なアブレーション寸法をもたらす最適な加工パラメータを探すのに時間がかかることがある。
このパラメータ検索を強化するために、LASEAは、スキャンされたラインとエリア、およびドリル加工されたキャビティのアブレーションプロファイルを推定できる数値モデルに基づいて、アプリケーションツールLS-Plume®を開発しました。アプリケーションの実行に必要な加工パラメータは、パルスエネルギー、焦点でのビームウエスト、パルス繰り返し周波数、スキャン速度、ビーム傾斜角であり、必要な材料の特性は、アブレーション閾値フルエンス、屈折率、放射線の浸透深さである。
このアプリケーションで得られた結果は、制御されたテーパードリル加工を含め、幅広い加工パラメータで実験的に得られた結果と比較することで検証された。このアプリケーションによって得られた良好な結果は、微細加工プロセスの最適化を、エネルギー的にも時間的にも可能にする。
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