CCD測定器 LQM+

光学式紫外線ビーム

PRIMES LaserQualityMonitor LQM+は、ビーム源のビームパラメータを迅速かつ自動的に特性評価します。この測定システムはコンパクトで、アライメントが容易で、個々の要求に合わせて拡張することができます。 ビーム伝搬の測定、故障の解析 LQM+によりPRIMESは、ビーム源のビーム特性を迅速かつ簡単に解析する統合ソリューションを提供します。紫外域から近赤外域までのレーザーのビーム伝搬は、この測定システムで特性評価され、認証されます。さらに、ビームイメージングシステムの共振器の光学構造の誤差を簡単に解析することができます。 通常10メートルのレイリー長を持つコリメートされたレーザービームの特性評価には、3～6レイリー長という非常に長い測定範囲のため、多大な測定労力を必要とします。このような測定は、スペースの関係で通常不可能です。このような理由から、ISO 11146では、回折指数M2を決定するために、集光によって生成された苛性物質を測定することを推奨しています。 LQM+は、照射されたコリメートされたレーザービームを集光することで、この装置内部の腐食を生成します。集光されたビームは、複数の内蔵アッテネータとレンズを介してCCDチップ上に拡大表示される。このようにして測定された2次元のパワー密度分布から、LaserDiagnoseSoftware (LDS)がビームの半径、位置、方向を決定します。この測定システムの手順と、装置内の様々な位置での測定の繰り返しにより、人工苛性の説明に必要なすべてのパラメータが決定されます。