プロファイル&ラフネステスター
特長とアドバンテージ
1.プロファイルとラフネス検出器を1台に集約
2.デジタルプロファイル検出器
3.リアルタイムのプロファイルトラック表示
4.ノーズピースなしの標準的な粗さ検出器
技術データ
モデル - MPR100
測定範囲 - X軸 - 100~220mm
- Z軸:320〜620mm
- Z1軸:C:0〜±30mm/R:±420μm
プロファイル精度 Z1軸:±(1.5+|0.2H|)μm
- 円弧:±(2+R/8)μm
- 角度 - ±2′
- 真直度 - 0.8μm/100mm
粗さ精度 - 直線性 - ±(7nm+3.5%)μm
- 残留ノイズ - ≤0.025μm
- 繰り返し精度 - 1δ≦2nm
- カットオフ波長 - 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
- 評価長さ λcX2, 3, 4, 5, 6, 7
駆動速度 X軸:0.1〜10mm/s
- Z軸:0.5~10mm/s
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