SEMやTEM分析用の均質で導電性の高い金属やカーボンのコーティングが、ライカEM ACE200コーティングシステムほど便利なものはありませんでした。
スパッタコータまたはカーボンスレッド蒸発コータとして構成され、完全自動化されたシステムで完璧な再現性のある結果を得ることができます。ライカマイクロシステムズは、両方の分析方法を必要とする場合には、交換可能なヘッドを1台にまとめた装置を提供しています。
水晶振動子測定、遊星回転、グロー放電、交換可能なシールドなど、様々なオプションで低真空コータを完成させます。
主な特徴
完全に再現性の高い結果
自動化されたプロセス実行とアシストされたパラメータ設定
小さくてコンパクト
コンパクトなデザインと小さなフットプリントでラボのスペースを節約
簡単クリーニング
取り外し可能なドア、シャッター、内部遮蔽、ソース、ステージ付き
簡単クリーニング
取り外し可能なドア、シャッター、内部遮蔽、ソース、ステージ付き
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