ランプ光源

UVコンパクト顕微鏡用

Hg-Xe混合ガス放電照明は、イグニッションとバラストが一体化されたランプハウスで構成される。 LEJディープUV照明システムは、熱ドリフトが少なく、バラストからのDC電源供給が非常に安定しているため、非常に安定したUV照射が可能です。 - さらに、当社のシステムは、ランプ、ミラー、コレクターの再現性のある機械的調整を可能にします。このように、LEJ Deep-UVシステムは、ウェハ検査や、フォトマスクの光学的レビューや分析、特に構造や線幅の欠陥や瑕疵を調べる際の照明に適しています。 製品ハイライト 熱ドリフトなし 再現性のある機械的調整 高電圧イグニッション内蔵 安全回路機能 運転時間カウンター 応用分野 フォトマスク分析 消毒 UV硬化