ガス用圧力調整器 MR 16

膜一段産業用

今日、測定可能な真空圧の範囲は、大気圧（約1000mbar（750 Torr））から10-12mbar（0.75-10-12 Torr）まで、つまり10の15乗にまで広がっています。この広い範囲の圧力を測定するために使用される機器は、真空計と呼ばれています。物理的な理由から、圧力範囲全体で定量的な測定が可能な単一の真空センサーを作成することはできません。そのため、様々な種類の真空計が利用可能で、それぞれの測定範囲は10の数乗にも及ぶ独自の特性を持っています。