方向の測定システム YX-6D/6DA

X 線ウェハー用

この装置は、シリコン単結晶バーの配向測定に特別に使用され、YX-5Z/6Zおよびマルチライン切断装置とのマッチングを使用することができます。 その最大の特徴は、配向測定後に水晶バーのたわみ角、X & Y 値を直接計算でき、部分ウェーハの角度値を正確に測定できることです。 構造： YX-6Dシリコン単結晶配向装置は、X 線コントローラ、角度装置、レコーダー、電磁光シャッター、マイクロコントロール、キーボード、入力情報、画面メニュー表示、データ印刷、角度表示、ピーク値強度計などから構成されています。 計数ソフトウェアは国際共通の計算方法で適用され、度単位で、最小精度 0.001 度を表示し、測定定義は ± 0.008 度（± 30 度）であり、この製品は直径 3-12インチ、500mmの長さ111,100 水晶表面などを測定することができます。