アニール、硬化、乾燥、表面コーティング
保護ガス雰囲気中でのウェハー表面改質
その他の応用例
電子・半導体産業におけるコーティングプロセス
製品仕様
最も重要な特徴
2ゾーン電気加熱
クリーンルーム・クラス100
残留酸素測定
急速冷却
ステンレス(1.4301)製チャンバー、電解研磨仕上げ
ガス供給装置 (Ar, N2)
管状発熱体による加熱
加熱パワー5 kW
温度精度 +/-3k
ガス循環
私たちはそれを可能にします:
Linn High Thermは、お客様のご要望に合わせた製品の開発を得意としています。改造が必要な場合はお知らせください。お客様のご希望に添えるよう、全力を尽くします。
可能な標準オプション
各種コントローラーシステム
緊急水冷
プロセスガイディングソフトウェア
循環クーラー
火炎監視付き燃焼停止装置
安全パッケージ
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