チャンバー炉 IT-GRV-330/350/2300

管状昇華結晶成長

結晶成長 修正Lely法後のバルクSiC単結晶の物理的気相輸送(PVT)成長について その他の用途高純度SiC原料の合成 製品仕様 最も重要な特性 誘導炉、トップローダー設計 4インチSiCバルク結晶成長 MF加熱パワー 30 kW 動作周波数 8-10 kHz 処理ガス 窒素、アルゴン、水素、分圧操作 5 - 950 mbar 水冷二重ガラス管セットアップによる真空/気密チャンバー ターボ分子ポンプ（685 l/s）による真空2 x 10-5 mbar用真空ポンプシステム 高純度グラファイトフェルト断熱材（ハロゲン浄化済み） 私たちはそれを可能にします： リンハイサーモは、お客様のご要望に合わせた製品作りを得意としています。改造が必要な場合はお知らせください。お客様のご希望に添えるよう、全力を尽くします。 可能な標準化オプション るつぼ回転・変位 るつぼ底部高温計 緊急水冷 プロセスガイディングソフトウェア ボトムローダー設計 循環冷却ユニット ドイツの有名研究機関による結晶成長トレーニング