Filmetrics社は、薄膜の測定を簡単かつ安価にすることを使命として1995年に設立されました。世界的に有名なフィルム測定メーカーであり、そのシステムは大企業の指定を受け、有名な学校の研究ユニットで広く使用されています。反射率や透過率を通して、tnmから13mmまでの膜厚を測定することができます。また、可動部がないため、膜厚、色、屈折率、粗さなどの測定結果が瞬時に得られます。
特徴
- 設置・操作が容易
- アレイ検出器と安定した光源により、高速で安定した測定を実現します。
- 最低でも1000種類の材料データを保有しています。ユーザーが独自にデータを作成することも可能です。
- 用途に応じて様々な構成を提供し、システムの拡張も容易です。
- 複雑なトレーニングを必要とせず、数秒で測定結果を得ることができます。また、エリプソメトリーと比較して、価格も非常に安価です。
応用分野
- アモルファス、ポリシリコン、ナノマテリアル
- 化学的機械的平坦化(CMP)
- 光学薄膜、誘電体
- ハードコート(例:自動車ヘッドランプのハードコート)
- IC故障解析
- (TO & Other TCOs)
- 医療・バイオメディカル機器
- LCD &OLED (ITO, PR, Cell gap)
- 有機コーティング
- 眼科用コーティング
- フォトレジスト
- 多孔質シリコン
- ソーラーアプリケーション
- ウェブコーティング
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