AFMや3Dスタイラスプロファイロメーターの半分以下の価格で光学式プロファイロメーターを手に入れることができます。Profilm30は、最先端の白色光干渉法(WLI)を採用し、0.05ymまでの表面形状と粗さを測定します。PSIオプションを追加すると、垂直方向の最小形状は0.001pmになります。Profilmソフトウェアは、曲面や段差のある場所でも、表面のテクスチャ(粗さ)を含めた全画像を解析することができます。また、より大きな画像を解析するために、複数の画像をつなぎ合わせることも可能です。
特徴
- 自動XYステージ(100mm x 100mm)、チップチルト(+1~5°)の動作範囲
- 100mmの範囲で動く自動Zモーション
- 業界最高水準の500mのピエゾ移動量
- 業界最高水準の2mm幅の広視野(10倍対物レンズ)。また、複数の倍率の対物レンズを交互に使用するアプリケーションのために、4ポジションのタレットを構成することもできます。
- 最大試料幅265mm
- 0.5%の精度で10umのステップハイトを標準装備。他にも100μm、2μm、4μmがあります。
テクスチャ(ラフネス)解析
曲面やテクスチャー(粗さ)の解析には、除去機能(形状除去)とフィルタリング機能を備えています。
ASME/EUR/ISO規格の47種類の粗さパラメータを線や面でサポートします。
1.アルファのステップは破壊的な測定で、私たちのシステムは光学的な非接触方式を採用しています。
2.曲面などの凹凸のあるサンプルも測定可能
3.同じ測定時間(数秒)で数平方ミリメートルの面積を測定できるが、αステップでは一次元のリニアスキャンしかできない
4.より良いアスペクト比を測定可能
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