モーター駆動円テーブル

大型サイズベルトドライブブラシレス

ロードポイントベアリング社は、ダイシング業界、電子業界、半導体業界への高 精度ロータリー・テーブルの主要なサプライヤーです。 ロータリー・テーブルの提供可能範囲は広く、50mm径 (2インチ径)から400mm径 (16インチ径)まで対応が可能です。 テーブルは、標準的、あるいは低減された高さで製造されています。 標準的高さのテーブルの利点は、最大化されたアキシャル、ラジアル、および傾 斜の剛性を持つことであり、 低減された高さのテーブルは、ラジアルおよび傾斜の剛性が低くなっています。 全てのテーブルは、エア・ベアリングに固有の、アキシャル・モーション・エ ラーの低さを特長としています。 テーブルは、ベルトあるいはウォームおよびホイールによって外部駆動されるこ とも出来、 あるいは構成部の駆動モーター付とすることも出来ます。 高精度エンコーダー付のDCブラッシュレス・トルク・モーターを使用することに より、 0.1 アークセカントよりも優れた角位置精度を達成することを可能にしました。 駆動部の選定やセットアップには、完全なテクニカルサポートが可能です。 オプションとしての特長には、ロータリーカップリング付の冷媒の供給あるいは 中央の真空供給用の、大きな径の中央スルーホールも含みます。