アクリビス-エアは、究極の処理イノベーションを実現するインテリジェントなスタンドアローン型試料調製システムで、高度に自動化されたスタンドアローン型のマシンです。ロジテックのインテリジェントなエア治具の動的な負荷制御を提供するこのシステムは、幅広いアプリケーションで高速かつ信頼性の高い、高精度の結果を提供します。
Akribis-air が提供する自動化のレベルは、ユーザー入力、変動、セットアップ、クリーンアップの操作を大幅に削減します。高度なソフトウェアシステムの統合により、高度な処理のためのユーザーフレンドリーで高度に制御されたプラットフォームが提供されます。ロジテックが開発したインテリジェントな自由回転式エア治具は、空気圧を利用して、プロセス全体を通じて最大限のサンプル荷重をかけることができ、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズに応えます。
アクリビスエアーは、次亜塩素酸ナトリウム(Na OCL)を含むCMPアプリケーションで使用される標準的な化学薬品に対して耐薬品性を有しています。
このシステムの代表的なアプリケーションは以下の通りです。
- シリコン - 集積回路、太陽電池、導波管
- III-V & II-VI 薄膜化および研磨
- サファイア - LED
- シリコンカーバイド - 光学、LED、パワーエレクトロニクス
- 窒化ガリウム - 光学デバイス、レーザー、RF
- 光学研磨 - 赤外線、光ファイバー、レーザーロッド
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主な特徴
100mm/4″または150mm/6″の試料を処理できる独立したシングルステーションシステムです。駆動ジグローラーアームが精度と再現性を大幅に向上させます。
400mm定盤、回転速度5-100rpm - ラッピングとポリッシングの高速化を促進します。
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