高精度ラッピングマシン DL series

高速分析用

ロジテックの高速ラッピングシステムDLは、高い幾何学的精度で材料を加工します。DLシステムの能力範囲は、小規模な研究室から生産環境まで理想的なものとなっています。また、ロジテックのカスタムテンプレートとチャックフェイスを使用することで、複数の小さなサンプルを処理する能力も備えています。1 台のワークステーション (DL1) または 4 台のワークステーション (DL4) で利用できるこれらの多用途ラッピングマシンは、最大 200mm/8" のサンプルをラッピングすることが可能です。 次亜塩素酸ナトリウム（Na OCL）を含むCMPアプリケーションで使用される標準的な化学薬品に対する耐薬品性を持っています。 ロジテックDL44は、大量の地質学的薄片および超薄切片の作成に理想的です。DL44は4つのワークステーションを備え、一度に最大56枚の標準的な薄切片を処理する能力を有しています。また、駆動ヘッド技術により、より迅速な処理が可能となり、このシステムは生産環境に理想的です。 追加プレートとロジテックVCB7治具のオプションにより、DL44は薄切片の最終段階研磨にも利用できます。 主な特徴 DL44 では、1 ステーションあたり最大 200mm/8″ の加工能力、または最大 56 個の標準的な薄型断面を加工できます。 モーター駆動のラッピング治具により、高い幾何学的精度とプロセス全体にわたる一貫した試料回転を実現し、優れたウェーハ均一性を実現します。 ペリスタポンプによる研磨剤定量供給システムにより、5～100ml/minの間で流量を設定することができます。 研磨剤供給システムの流量とMRRを含むプロセスパラメータは、システムのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で制御されます。