ロジテック APD2 アニュラー/ペリフェラルソーは、研究・生産のどちらにも最適な製品です。
APD2 アニュラー/ペリフェラルソーは、非常に信頼性の高いシステムで、ウェハー加工やダイシングに多用途に使用できます。 高精度で再現性のある切断を行い、材料の無駄を最小限に抑えることができます。
APD2アニュラーソーは、試料を正確かつ薄くスライスし、表面の損傷や切り口の損失を最小限に抑え、最大78mm径のウェハーを切断することができます。
APD2ペリフェラルソーでは、最大152×152mm(6×6″)の試料を受け入れるユニットで、1mm×2mmの小さなチップを再現することができます。両ユニットとも、高い位置精度を兼ね備えています。
主な特徴
アニュラーカットとペリフェラルカットを選択可能
高い位置決め精度
300ミクロンまでのウェーハを最小限のカーフロスでスライス可能
1mm×2mmのチップを最小限のエッジチッピングで切断可能
セミオートマチック操作
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