ロジテックの非接触ゲージは、コンパクトで高感度な測定器です。壊れやすい材料、柔らかい材料、高度に研磨された材料の寸法を正確に測定できるように開発されました。
非接触ゲージシステムは、リニア電圧差動トランスデューサー(LVDT)と空気圧サーボで構成される非接触空気圧ゲージヘッドをベースにした簡単な操作です。これにより、プローブと測定対象物の表面との間に一定のエアギャップが保たれます。測定中、プローブが試料面に接触することはありません。
信号の調整と校正の後、LEDはプローブの変位(表面の凹凸、ステップ高さ、材料の厚さなどに相当)をミクロン単位で表示します。
読み出し装置とすべての制御装置は、コンパクトなシングルユニットに収納されており、メンテナンスも簡単です。
極薄半導体ウェハー
軟質有機結晶
高品位光学部品
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主な特徴
測定レンジを変更可能
コンパクトで使いやすい
高純度フィルター付きエアフロー
直接デジタル表示
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