平坦性測定機 GI20

制御用高精度

ロジテック平面度測定器GI20は、最大150mmφまでのラップ面やセミポリッシュ面の高精度な平面度測定が可能な装置です。従来のフィゾー干渉計とは異なり、非反射面の測定が可能なため、最終研磨前のラップ面や研磨面のチェックに最適です。 干渉計は本体前面のスクリーンに表示されます。また、HDMIポートを使ってパラレルディスプレイを作成したり、USBポートから画像をエクスポートして外部で分析することも可能です。干渉計の全機能は、タッチスクリーンパネルで操作できます。 微小角入射干渉計 標準的なフィゾー干渉計は、使用する波長にもよりますが、通常、約0.3μmのフリンジ間隔で動作します。このため、平坦度の測定は、モニターに十分なコントラストを与えることができる高反射率材料に限定されることが多くあります。また、フリンジ間の距離が短いため、「ビジー」な画像の解析に支障をきたすことも少なくありません。 ロジテック微小角入射干渉計は、レーザー光を試料表面から微小角入射で反射させることで、このような問題を解決します。この角度の光線により、反射する試料面でも反射しない試料面でもフリンジがモニターに表示されるようになります。また、127mm×150mm（5″×6″）の大きな開口部を持つため、最大150mm（6″）Øの試料を正確に評価することが可能です。 7インチスクリーンでは、フリンジ間隔を2μmに固定して表示することにより、迅速かつ正確な測定を「インプロセス」で行うことができ、最大300nm Raまでの研磨済みサンプルの表面仕上げに優れたコントラストレベルを実現します。