自動塗工機 SE series

高精度

1. 795mmの同一真空区画設計により、ポンプ、ガス分離、カソード区画の配置を自由に変更でき、プロセスの自由度を向上させました。 2. ガス分離装置の新設計により、カソードコンパートメント間のガス漂流を防止し、より高いガス分離効果を実現しました。 3. 押し出し成形のアルミ製支持管により、磁石とヨークを冷却水から隔離し、長時間の水浸けによる磁界の変化を防止します。 4. 5-9 の多岐管補助プロセス ガス システムと装備されていて、それぞれはプロセス条件として異なっていることができます。 5. 高精度の搬送制御は、サーボモータによって確保することができる。 6. 入出庫室の容積を削減し、効率化・コストダウンを実現。 7. カソードリッド一体型は、ガスマニホールド、コントローラー、電源用接続部、各種メディアを「箱」に入れることで完璧なコンビネーションを実現し、プロセス構成をよりフレキシブルにすることができます。 8. 各カソードは独立した制御システムを備えています。 9. ワンピース蓋のデザインは、より良い自動制御を達成するために、簡単に機械的および油圧のリフティングを行うことができます。 10.高度の maglev のターボ分子ポンプおよびねじライン ポンプの使用によって逆流オイルからの汚染を防ぎ、それをより信頼でき、有効にさせます。