リードフレーム等の薄板状ワークを両面同時処理する、コンパクトな自動装置。
板状ワークを処理する小型自動装置です。PFEの小型ローコスト版となります。半導体やセラミックス板、Cu板、フィルム等の処理に向いています。ワークサイズに合わせた2種類をラインナップしています。
主な用途
半導体の精密バリ取り
半導体の薄バリ(フラッシュバリ)を除去・洗浄する、めっき前処理です。
埋蔵LEDチップのオーバーモールド除去
LEDデバイス上のオーバーモールド樹脂を削り、チップ・電極を露出させます。
LEDパッケージ薄バリ取り
LEDパッケージのバリや汚れを洗浄し、リフレクター面の反射率低下を防ぎます。
LTCC基板の不導体層除去
LTCC基板製造でめっきの不良の原因となる、ガラス質不導体層を除去します。
難接着樹脂材料の密着性向上
接着の難しい難接着樹脂材料の、密着強度を向上させる前処理です。
装置内フロー
ワークの投入から排出までを自動で行います。前後に投入・排出装置を付けることでインライン化が可能です。