- 検出・測定
- 位置測定器・速度計・加速度計
- インクリメンタルリニアエンコ—ダ
- Magnescale Europe GmbH
インクリメンタルリニアエンコ—ダ BS78光学式非接触式オープンタイプ
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特徴
- タイプ
- インクリメンタル
- 技術
- 光学式
- 機械的特性
- 非接触式, オープンタイプ
- 出力シグナル
- アナログ, デジタル, 正弦波
- 保護レベル
- 非磁性
- 用途
- 工業用, リニアモーター用
- その他の特徴
- コンパクト, 高精度, 高解像度, 高速, ガラススケール付き
- 長さ
最少: 40 mm
(1.575 in)最大: 420 mm
(16.535 in)- 分解能
最少: 0.01 µm
最大: 0.1 µm
- リニアエンコーダの速度
最少: 0 mm/s
最大: 400 mm/s
- 動作温度
最少: 10 °C
(50 °F)最大: 30 °C
(86 °F)
詳細
高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。
光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール
湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
原点精度:±0.1µm
精度:±0.04µm以下(有効長40mm)
完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません
有効長:40～420mm、9種類(-R/-RS)
有効長:10～420mm、10種類(-N/-NS)
真空、非磁性対応(特殊仕様)
低膨長ガラス使用:－0.7×10-6/℃(有効長:10～420mm)
分解能:2.1pm
