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インクリメンタルリニアエンコ—ダ BH25 series
光学式非接触式オープンタイプ

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Magnescale Europe GmbHのサイトについての詳しい情報

特徴

タイプ

インクリメンタル

技術

光学式

機械的特性

非接触式, オープンタイプ

出力シグナル

アナログ, デジタル, 正弦波, RS-422

その他の特徴

コンパクト, 高精度, 高解像度, 高速, ガラススケール付き, 外部変換回路

分解能

最少: 0.01 nm

最大: 62 nm

リニアエンコーダの速度

最少: 0 mm/s

最大: 1,800 mm/s

動作温度

最少: 10 °C
(50 °F)

最大: 30 °C
(86 °F)

詳細

信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。信号波長:250nm 高精度:±1μｍ/420mm 高速応答:1,800mm/s 最高分解能:3.8 pm ラインナップ:原点付、原点無し完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。スケール部:ZEROガラス、無アルカリガラス厚み:12mmの薄型ヘッド各種分解能、出力形式に対応(BD96、BD700等、インターポレータによる) 真空（特殊仕様品）