最高分解能17pm(BS組合せ時)。各種シリアル及びバイナリ出力に対応。
高速応答 400 mm/s (BS接続時) 700 mm/s (BH接続時) 1,100 mm/s(BL接続時)
最高分解能 : 0.4nm (BL接続時) 31.25 pm (BH接続時) 17 pm (BS接続時)
自動信号補正機能付き
標準で4分割A/B相を出力 (バイナリ出力1軸タイプ、2軸タイプ)
BS : 34.5 nm BH : 62.5nm BL : 100 nm
最高分割数:8,000分割 (BS、BHシリーズ接続時) (特殊仕様で承ります。)
※分割数など各種仕様に関しては、別途ご相談ください。