ステム径φ8 mm のスリム形状に高耐久性のボールスプラインベアリングを採用。
独自の信号処理技術により高精度でリアルタイム性が要求される測定にも対応可能。
精度: 1 µm p-p ~ 1.7 µm p-p (機種により異なります。)
最大応答速度: 0.1 µm 分解能 80 m/min、0.5 µm 分解能 250 m/min
軸受構造: 耐久性に優れたボールスプラインベアリング採用により摺動性能向上
摺動回数: 3億2千万回以上 (2021年1月現在継続評価中)
保護等級: IP67対応 (ストレートタイプ / ライトアングルタイプでエアチューブを装着時)
原点内蔵
出力信号: A/B相、原点 (電圧差動型ラインドライバ出力)
強固に固定できるフランジタイプもあります。