細線ワイヤが使用可能な油性加工液の横形ワイヤ放電加工機です。サブミクロン単位の精密さと優れた表面仕上げにより、小物電子部品、医療機器などの微細加工に最適な機械です。
本機は、ワイヤ横走行方式です。これによりワイヤ結線性能が向上し、直径30µmの小さなスタート穴にφ20µmの細線ワイヤを確実に通すことができます。また、ワーク割り出し、自動コア処理、ワーク自動交換など、高い次元の自動化に対応することができます。
X・Y軸は微小送りでの追従性に優れたグラナイト製空気静圧案内を採用しました。案内面は非接触のため、永続的に精度を維持します。10ナノメートルのスケールフィードバックシステムを使用して、0.1µmのプログラム最小指令単位です。
加工液は放電ギャップが狭く微細加工に有利な油を採用しました。幅32μmの狭スリット仕上げ加工や板厚10 mmの最良表面粗さは Rz 0.1 μmを実現します。
機械は気密性の高い外装カバーと高性能エアコンディショナにより、各部温度のバラつきを±0.5゜C以内に制御する恒温チャンバを標準仕様にしました。長時間におよぶ加工であっても、ピッチ精度や形状精度のバラツキは最小です。