X線回折計 X'Pert MRD

高解像度

長い歴史と高い評価を誇るMalvern Panalyticalの物質調査回折装置(MRD)は、新世代のX’Pert³ MRDとX’Pert³ MRD XLでも使用されています。 新しいプラットフォームの向上したパフォーマンスと信頼性により、X線散乱法研究用の分析能力と機能が強化され、次の分野に対応します。 • 最先端材料科学 • 科学および産業用薄膜技術 • 半導体プロセス開発での計量特性評価 両方のシステムでは、100 mmまで(X’Pert³ MRD)または200 mmまで(X’Pert³ MRD XL)の完全なウェハーマッピングにより、同様に広範囲の用途に対処します。 将来のニーズに対応する優れたシステムの柔軟性 X'Pert³ MRDシステムは、研究からプロセス開発やプロセス管理に至るまで、高度で革新的なX線回折ソリューションを提供します。 使用されている技術により、すべてのシステムフィールドを既存のすべてのオプションと、今後のハードウェアとソフトウェの新しい機能に対応するようアップグレードできるようになります。 X’Pert³ MRD 標準的な研究・開発バージョンで、薄膜サンプル、ウェハー(最大100 mmの完全マッピング)、固体物質をカバーします。 高分解能分析機能は、ハイデンハインエンコーダーを使用する、新しい高分解能ゴニオメータの際立った精度によって改善されます。 X'Pert³ MRD XL X'Pert³ MRD XLは、半導体、薄膜、および最先端材料の各分野で要求されるすべての高分解能XRD分析能力に応える製品です。 最大200mmまでの完全なウェハーマッピングが可能 X’Pert3バージョンは、最長の耐用期間を誇る入射光コンポーネント(CRISP)を搭載し、空圧式シャッターとビーム減衰器により最大稼働時間を達成しています。