X線分光器 2830 ZT

波長分散型蛍光X線分光分析装置（WDXRF）実験用測定用

2830 ZT波長分散型蛍光X線(WDXRF)ウェハーアナライザは、膜厚・組成を測定するための究極の機能を提供します。 2830 ZTウェーハアナライザは半導体およびデータストレージ業界向けに開発されており、最大300 mmの各種ウェーハの層の組成、厚さ、ドーパントレベル、表面の均一性を測定できます。 連続分析能力と速度 4 kW SST-mAX X線管球には、管球の経年劣化による影響を排除する先進のZETAテクノロジが採用されています。 ZETAテクノロジにより、「新品の管球」と同じ性能が管球の耐用期間全体にわたって維持されます。また、耐用期間中は、高い感度に加え迅速な分析と非常に短い測定時間も維持されます。 ZETAテクノロジでは、ドリフト補正と再校正の必要性が大幅に低減されるため、装置の生産性と稼働率が向上します。 最高の稼動率 従来のX線管球では、フィラメント材のタングステンが気化して管球のベリリウムウィンドウの内側に蒸着するという問題が発生します。 そのようなX線管球を使用する装置では、特に軽元素の場合に、定期的にドリフト補正を行って強度の低下を補正する必要があります。 このようなドリフトに関する問題は、2830 ZTに装備されたSST-mAX管球によって解消されているため、最高の稼働率を実現し、装置の精度を長期間維持することができます。