X線回折（XRD）回折計 Omega/Theta

実験用

X線結晶方位測定装置 Omega/Theta XRDは、結晶方位を決定するために、精度と速度の究極の組み合わせを提供します。わずか10秒で結果が返されるOmega/Theta XRDは、バーコードリーダから結晶スタッキングフレームまで多くのプロセスアクセサリを備えており、重量30 kg、長さ450 mmまでの幅広いサンプルに対応できます。測定された方位を加工ツールに転送するための信頼できるパートナーです。 概要 Omega/Theta XRDは、変化しやすい半導体様相において結晶方位を決定するための信頼でき将来も使い続けることのできるパートナーです。市場をリードする精度、超高速測定速度、ハイエンドの製造品質が自動化機能と組み合わされて、プロセスがあらゆる状況に対応できるようになります。Omega/Theta XRDは、結晶方位と配列に対して比類のない効率と精度を提供し、生産用途と研究用途の両方に最適です。 特長と利点 独自のスキャン技術による超高速精度 当社の方法では、試料の一回転だけ方位を完全に決定するために必要なデータをすべて収集できます。これにより、数秒という非常に短い測定時間で高精度を実現できます。 進化した接続性と自動測定のための簡単なインターフェース Omega/Theta XRDのすべての測定は自動化されており、使いやすいXRDソフトウェアで管理されます。この装置は、さまざまなMES、SECS/GEM、および同様のインターフェースを使用して、生産環境の既存のプロセスに簡単に統合できます。 さまざまな材料の特性評価 Omega/Theta XRDは、すべての単結晶材料の特性評価に使用できます。一般的に使用される材料は次のとおりです。 便利で柔軟なサンプル処理 当社の幅広いアクセサリは、シードボーリングから研磨、スライス、ウェハ形状の端部制御に至るまで、幅広い用途でOmega/Theta XRDの生産性を向上させ、時間の経過とともにニーズが変化しても柔軟に対応します。次のような拡張機能があります。 ユーザー定義のグリッド上に結晶方位や表面の歪みをマッピングするため自動X-Yマッピングステージ ソーイング前にインゴットを整列させるスタッキングステージ 品質測定用ロッキングカーブツール