直接熱質量流量測定
高精度
ヘリウムで校正
明るくグラフィカルなOLEDディスプレイ
デジタルまたはアナログ出力、アラームおよびカウンター機能
高精度ニードルバルブ
特徴
明確な表示
- 実流量(バーグラフと数値)
- 希望流量単位
- ガス種
- 積算流量
明るく広角なOLEDディスプレイ
視差エラーなし
温度や圧力の変化に影響されない
圧力変動
低圧力損失
広い流量範囲
高速応答
高精度
設定可能なパスワード保護
アラームとカウンター機能
リレー
高分解能ニードルバルブ
デジタル校正
無料ソフトウェアツール
技術仕様
精度
最大容量の50%以上の流量で±2% RD
低流量では± (1% RD + 0.5% FS)
技術仕様は最大FSでの空気に基づいています。
繰り返し精度
< 0.2% FS 標準
圧力係数
0.2%/bar(空気中
標準校正ガス
ヘリウム He
レンジアビリティ
最大1:20
応答時間(センサー)
(t63%) 2秒
動作温度
0 ... 50 °C (32 ... 122°F)
温度係数
ゼロ<0.1%FS/℃、スパン<0.2%RD/°C
リークインテグリティ、アウトボード
テスト済み < 2 x 10-9 mbar l/s He
姿勢感度
< 0.1 % FS
機械部品
材質(接液部)
メーター: アルミニウム, Viton® (FPM)
ニードルバルブ:フッ素樹脂, 真鍮, ブナN
プロセス接続
G 1/4" BSPPメス
(コンプレッションフィッティングはオプション)
シール
バイトン®、PTFE
重量
0.7 kg
電気的特性
電源
+15 ... 24 Vdc (+/-10%)
最大消費電力
約135 mA
出力
0 ... 5 Vdc
EMC
EU宣言
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