チャンバー炉

熱真空不活性ガス

当社のタングステンホットゾーンと2200° C（3992° F）との最高温度 3000° C（5432° F）の工業用真空炉は、真空中での動作と私たちのグラファイトホットゾーンです。 異なるサイズのホットゾーンとポンプシステムで利用可能です。 ベース真空炉は、10-2 Torr（mbar）までの真空レベルの避難システムと、アルゴンでの運転のための不活性ガスシステムを標準装備しています。 荒削りポンプのオプションのブロワーは、操作圧力を10-3 Torr (mbar) に下げます。 拡散ポンプシステム、ターボポンプシステム、極低温システムなどの高真空システムは、さらに10 〜 10 Torr（mbar）まで低いチャンバー圧力を下げます。 真空システムの選択は、必要な真空レベルやガス負荷などのプロセスパラメータに基づいています。 炉の見積もりを依頼する際に、希望する真空レベルとポンピングシステムのタイプを指定します。 真空チャンバーは二重壁、水冷、304Lグレードのステンレス鋼から製造され、優れた真空完全性を備えた清潔で耐久性のある仕上げのために電気研磨されています。 真空炉は、金属、合金、セラミックス、グラファイト化合物の熱処理に使用されます。