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マグネトロン スパッタリング式貯蔵マシン MINIvap熱蒸発によるイオン ビーム補佐薄膜
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特徴
- 技術
- マグネトロン スパッタリング式, 熱蒸発による, イオン ビーム補佐
- 貯蔵方法
- 薄膜
- その他の特徴
- 真空
- 応用
- マイクロエレクトロニクス産業, 光起電用途用
詳細
既存のMBRAUNグローブボックスへの組み込みが可能（控え室経由）
- 50 x 50 mm ウェハーまでの基板に対応
- コンパクトなデザイン
- 経済的なソリューション
- 短納期
- 迅速かつ容易な設置
- 既存のグローブボックスへの簡単なレトロフィット
- 有機EL/有機エレクトロニクス
- OPV
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