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光起電性貯蔵マシン MINIPEROvapマグネトロン スパッタリング式熱蒸発によるイオン ビーム補佐
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特徴
- 方法
- 光起電性
- 技術
- マグネトロン スパッタリング式, 熱蒸発による, イオン ビーム補佐
- 貯蔵方法
- 薄膜
- その他の特徴
- 真空
- 応用
- マイクロエレクトロニクス産業, 光起電用途用
詳細
100%ペロブスカイト専用ミニPVDチャンバー
- 既存のMBRAUNグローブボックスへの統合が可能（控え室経由）
- コンパクトな設計
- 最大50x50 mmの基板に対応
- 最大4つのソース
- 層均一性 < +/-5 %まで
- 経済的なソリューション
- 短納期
- 既存のグローブボックスへの容易なレトロフィット
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