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マグネトロン スパッタリング式貯蔵マシン PEROvap熱蒸発によるイオン ビーム補佐薄膜
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特徴
- 技術
- マグネトロン スパッタリング式, 熱蒸発による, イオン ビーム補佐
- 貯蔵方法
- 薄膜
- その他の特徴
- 真空
- 応用
- マイクロエレクトロニクス産業, 光起電用途用
詳細
ペロブスカイト専用設計
- 効率的な研究開発のための理想的なツール
- 特殊なシステム設計
- 特殊なプリカーサーソース
- 低温での高い安定性
- 安定した成膜プロセス
- 高真空条件
- 低クロストーク
- 高い再現性
- 非常に長い寿命のための材料互換性
- 特許出願中
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