リニアポジショニングステージ MS30

トランスレーション圧電多軸

45 x 40 mmのフットプリントで18 mmの クローズドループ動作（最大 50nmの分解能） 多軸の組み合わせをアダプタプレートなしで行う多軸の組み合 わせが可能なピエゾ電気慣性駆動を備えた小型トランスレーションステージ。