リニアポジショニングステージ MS15

電動式圧電コンパクト

10^ （- 6） mbarまでの高真空の条件のため 超コンパクト デザイン 3.5mm旅行 xyz –可能な組合せ piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15の真空の版。