リニアポジショニングステージ MS15

電動式圧電3軸

10^ （- 9） mbarまでの超高真空の条件のため 超コンパクト デザイン 3.5mm旅行 15 x 15のmmの足跡 piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15のUHVの版。