リニアポジショニングステージ MS38

圧電単軸小型

10^ （- 9） mbarまでの高真空の条件のため 38 x 42のmmの足跡の8つのmm旅行 光線の道のための10のmmの自由な開き 自由な開始dia 10mmおよびpiezo電気慣性ドライブが付いているミニチュアtranslastionの段階。MS 38のUHVの版。