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XY軸ポジショニングステージ ML17XYZ軸圧電3軸
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特徴
- 方向
- XY軸, XYZ軸
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- 小型, 真空対応
- ストローク
5 mm
(0.197 in)- 速度
1 mm/s
詳細
-17 x 32 mmのフットプリントで5mmトラベル
-4Kまでの超低温
用-最大10^ (-9) mbarの高真空条件用
ピエゾ電気慣性駆動による超低温用ミニチュア翻訳段階。 ML17のUHVエディション。
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