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XY軸ポジショニングステージ ML17XYZ軸電動式圧電
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特徴
- 方向
- XY軸, XYZ軸
- タイプ
- 電動式, 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- コンパクト, 小型
- ストローク
5 mm
(0.197 in)- 速度
1 mm/s
詳細
17 x 32のmmの足跡の5つのmm旅行
4Kまでの超低い温度のため
非常にコンパクト デザイン
10^ （- 6） mbarまでの高真空の条件のため
piezo電気慣性ドライブとの超低い温度のためのミニチュア翻訳段階。
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