リニアポジショニングステージ MS15

XYZ軸圧電3軸

10^ （- 9） mbarまでの超高真空の条件のため x、yおよびzの方向の3.5 mm旅行 15 x 15のmmの足跡 piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15のUHVの版。