圧電ポジショナー MS30 series

多軸小型

45 x 34mmのフットプリントで8mm 走行 可能な クローズドループ動作（最大 50nmの分解能） 多軸の組み合わせに対応するさまざまな取り付け可能なアダプタプレートなしの ピエゾ電気慣性駆動による小型トランスレーションステージ測定システム付き。