トランスレーションポジショニングステージ MS15

圧電小型

10^ （- 9） mbarまでの超高真空の条件のため xおよびyの方向の3.5 mm旅行 私達の有価証券の最も小さいプロダクト piezo折衷的な慣性ドライブが付いている超小さいミニチュア翻訳段階。MS15のUHVの版。