Membrane Solutions CMPro-Dシリーズデプスフィルターは、あらゆる種類の化学機械研磨(CMP)スラリー中の凝集粒子やゲルを効果的に除去し、有効な研磨剤と粒子分布は変わらないように開発されました。独自の3次元複合構造により、テーパー状の細孔を持つポリプロピレン製勾配深層膜を製造しています。外周部(上流側)は、連続したメルトブローメディアで構成されており、汚染物質保持能力を最大限に高め、長寿命化と低コスト化に貢献します。内側(下流側)は、ナノファイバーで包まれたメディアで構成されており、優れた除去効率と信頼性の高いろ過が可能です。
特徴
大勾配設計により、濾過効率を確保し、フィルターの寿命を延ばすことができます。
内層の超極細繊維は、欠陥の原因となる粒子を保持し、必要な研磨材は通過させることができます。
長寿命化により、コストダウンにつながります。
界面活性剤やバインダーを使用しないオールポリプロピレン構造で、沈殿が少ない。
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