リニアナノ位置決めステージ NPX series

圧電3軸コンパクト

NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 µmの移動範囲を実現します。摩擦のないガイド原理により、NPXピエゾスタックリニアステージはメンテナンスフリーで、摩耗の心配はありません。さらに、出力モーションの感度は、機械的な摩擦の影響を受けません。