縦型ポジショニングステージ GTS series

リニアモータ駆動単軸クロスローラー

GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を実現しています。半導体ウェハー検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適なステージです。 -コンパクトなユニットで30mmまたは70mmの精密上下移動が可能 -どの方向からでもペイロードにアクセスできます。 -縦型アンチクリープクロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと優れた軌跡精度 -リニアエンコーダ搭載により、高感度、優れた再現性、高精度のモーションを実現。 ダイレクト・バーティカル・ガイド GTS30Vはアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを組み合わせたダイレクト・バーティカルガイドシステムにより、高精度の上下運動を実現しました。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌道、スムーズで正確な動き、そして堅牢で長期の稼働を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラベアリングは、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きを実現するという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 折りたたみ式DCモーターと精密研磨された低摩擦リードスクリューにより、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現しました。また、モータとリードスクリューの間に減速ベルトを設けることで、出力トルクの向上とサーボ感度の低減を実現し、100nmのMIMを保証しています。