optoCONTROL 2700 高性能LEDマイクロメータは、要求の厳しい測定作業において卓越した精度を実現します。厚さ、ギャップ、エッジ、セグメントを高精度で測定できます。0.3mmの微小物体の精密測定が可能です。LED精密マイクロメーターの直線性は≤1 µm、デジタル分解能は10 nmです。半導体製造、自動車産業、航空宇宙、医療技術などで使用されています。
決定的な利点は、測定精度を大幅に最適化するテレセントリック光学系です。測定対象物は均一に照射され、測定対象物が斜めに配置されていたり傾いていたりしても、リアルタイムの傾き補正により極めて正確な測定結果が得られます。そのため、測定対象物の直交アライメントは必要ありません。
ローラーのような反射率の高い測定対象物でも、ガラスウェハーのような透明な測定対象物でも、この革新的なマイクロメータは、最高の精度と信頼性が要求される場合に最適なソリューションを提供します。正確な測定に加え、統合された汚染検出機能は、測定面の汚染や異物を検出するための積極的なソリューションを提供します。この機能により、測定エラーを回避し、測定結果の品質を最高レベルにまで高めることができます。6つのプリセットにより、測定タスクに合わせた迅速で簡単なセットアップが可能です。
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