SF6ガスセンサー VKM2002985

微小流NDIRプロセス計測用産業安全環境用

六フッ化硫黄は、微量ガス、保護ガス、絶縁ガスとして、現在でも多くの用途で不可欠である。六フッ化硫黄は温室効果が高いため、責任を持って取り扱うことが重要です。マイクロフローSF6.100Vol.-%センサーは精度と信頼性が要求される幅広い用途に適しています。 適用分野 産業分野SF6はシリコン、二酸化シリコン、その他の化合物などの半導体材料に精密なパターンを形成するプラズマエッチングプロセスに使用されます。このガスは特殊なエッチングチャンバーで使用され、高周波エネルギーを加えることでプラズマに変換される。このプラズマは材料と選択的に反応し、非常に制御された正確なプロセスで材料の精密な彫刻や除去を可能にする。 アルミニウムの生産では、六フッ化硫黄がトレーサーガスとして使用され、生産工程の効率向上と潜在的な問題の早期発見に役立っている。また、最終製品の品質と一貫性を監視するためにも使用される。 エネルギー技術：電力供給の分野では、SF6は高圧開閉器や変圧器の絶縁ガスや冷却媒体として使用されている。六フッ化硫黄の測定は、漏れを早期に発見し、システムの状態を監視するために重要である。 測定精度 当社のNDIRガスセンサーは六フッ化硫黄の測定とモニタリングにおいて正確な結果を達成します。10ポイントリニアライゼーションにより、測定ガス濃度の最大偏差は100体積％までの全測定範囲で1％未満です。