手動式プローブステーション SPS series

SPS-1000、SPS-2000、SPS-2200システムは、柔軟で使いやすい設計のMicroXactの最高級マニュアル・プローブ・ステーションです。これらのマニュアルプローブシステムは、高い性能と手頃な価格により、他の製品とは一線を画しています。 最大200mmウェーハ対応、DC/RFプローブ、サーマルチャック（オプション）、各種シールドオプションにより、故障解析、信頼性試験、IV/CV試験、低電流試験、マイクロ波/RF特性評価などの幅広いアプリケーションに使用することが可能です。 マイクロザクトのマニュアル・プローバを用いたIV/CV/微小電流テストは、半導体デバイスの特性評価に必要な精密で正確な計測を実現します。MicroXactのマニュアル・プローブ・ステーションの多様なオプションと柔軟性により、ダイ上のウエハレベルキャパシタンスと低電流テストはかつてないほど容易になりました。 特徴 - マニュアルステージは、ウェハやサンプルのロード/アンロードを容易にするために、プリロードスライドを追加することができます。 - プラテンとチャックのZ位置を手動で制御し、粗調整と微調整を行うことができます。 - 滑らかな鋳鋼製プラテンは、最大10個のマグネット式または真空式ポジショナを搭載可能。 - 低リーク電流テスト用に、同軸および3軸チャックや筐体も利用できます。 - 顕微鏡のXYZ位置決めが可能なブームマウントを標準装備。 - プローブをμm単位で位置決めできる80TPIネジを採用した高分解能マイクロポジショナーを用意。 - プローブの位置決めに80TPIネジを使用した高分解能マイクロポジショナーを用意。