半自動プローブステーション SPS series

標準的な半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - ステッピングモーターベース、エンコーダーなし。 - 高いコスト競争力 - 0℃以下の試験や遮蔽が必要なアプリケーションに最適。 - オプション：加熱・冷却チャック、ズームスコープ、複合顕微鏡、各種シールド、DC・RF測定用チャックの選択、その他多数 仕様 - ウエハーサイズ 最大200mmまで - モータータイプ ステッピングモーター - XYステージ移動量 最大200mmx200mm - XYステージ分解能 モータライズド、繰り返し精度6.5μm - XY速度(最大) 9.5mm/s - Z速度(最大) 5mm/s - プラテン移動量 12.7mm以上 - プラテン調整 粗微動デュアルコントロール、繰り返し精度2.5μm以下 - プラテン平坦度 <200mm間で12.7μm以下 - プラテン剛性 <50μm以下（4.5kgの場合 - バキュームチャック マルチゾーン真空 - チャック平坦度 +/-13μm以下 - チャック破壊電圧 500V以上 - チャック絶縁 1GΩ以上 - チャック調整 360°粗動、±6°微動 - 顕微鏡 最大200mmのワーキングディスタンスと3.5倍から180倍までの高倍率ステレオズーム - フィードスルー端子 BNC、Triaxまたはバナナプラグ - システム寸法 幅122cm x 奥行き122cm x 高さ92cm