この自動化システムは、MicroXact社のXactTest™プローブステーションソフトウェアによって駆動されます。このインターフェースは、シンプルで便利な設計になっており、ユーザーはほぼあらゆる種類のデバイスの自動テスト手順を簡単にセットアップすることができます。LabViewベースのXactTestソフトウェアソリューションは論理的に構成されており、XactTest™ソフトウェアの枠組みの中で、あるいは豊富なSCPIコマンドを使用して、プローブステーションの制御や顧客独自のテスト機器や測定機器の容易な統合を可能にします。テクトロニクス社製装置とケースレー社製自動特性評価スイート(ACS)ソフトウェアをお持ちの方は、XactTest™ソフトウェア用のドライバをご利用になれます。
XactTestプローバ・ステーション・ソフトウェアの特徴
- ほとんどの場合、自動化、測定、データ収集は、シンプルなラップトップコンピュータ上で動作するソフトウェアパッケージで管理することができます。
- ソフトウェアにより、ユーザーはデバイスのウェハーマップを作成し、後でインポートするためにそのマップを保存することができます。
- マップ編集機能により、ユーザーは迅速かつ容易に、テスターがスキップしたい特定のダイまたはウェーハの領域をマークすることができます。
- ポイント&クリックナビゲーション機能により、マップ上をクリックすることで、チャックをウェハ上の特定のデバイスに素早く移動させることができます。
- 3点、4点、5点のソフトウェアガイドアライメントにより、ウェーハのメカニカルミスアライメントを補正し、ウェーハ上の高さのばらつきも補正することができます。
- サーマルチャックとライトシャッターのフルコントロールが可能であり、複雑でカスタマイズ可能なテストシーケンスを実現します。
- 豊富なSCPIコマンドライブラリは、プローブステーションの制御や、お客様自身またはサードパーティの自動化ソリューションとの統合に利用可能です。
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