抵抗率プローブステーション A4P-series

A4P-Series Wafer Resistivity Mappersは、実績のある業界標準を採用し、試料の抵抗率分布を迅速、正確かつ信頼性の高い測定が可能です。MicroXactの4点プローブは、4点プローブの外側ポイントに電流を流し、内側ポイントの電圧を測定することにより、半導体ウェハーの層の平均抵抗値を測定します。そして、シート抵抗に膜厚を乗じることで、電気抵抗を与える材料の特性である抵抗率の値を求めることができます。 A4Pプローブは、100mm、150mm、200mm、300mmシステムとして提供され、メンテナンスフリーで非常に使いやすい設計になっています。このシステムには、広範囲の熱テスト、非標準材料用のカスタムチャック、ほぼすべてのアプリケーション用にカスタマイズされた4ポイントプローブなど、さまざまなオプションが用意されています。 抵抗率測定オートメーションソフトウェア A4P-200-PLUS自動化ソフトウェアにより、抵抗率マッピングシステムの半自動化、全自動化が可能です。インターフェイスはシンプルかつ強力に設計されており、ほぼすべてのウェーハ構造に対して自動テスト手順を容易に設定することができます。LabViewベースのソフトウェアは論理的に構成されており、お客様がお持ちのテスト機器や測定機器を簡単に統合することができます。このソフトウェアは、Windows XP以上のOSを搭載したPCにインストールすることができます。